E16300 - SEMI E163 - 特別に指定されたエリア内のレチクルおよびその他の静電気超敏感性（EES：EXTREMELY ELECTROSTATIC SENSITIVE）アイテムの取り扱いのためのガイド Revision:SEMI E163-0212 - Superseded • Extension of recipe identification

• Extension of recipe identification capability

• 膜蒸着装置 (CVDとPVD)

orgで入手可能となる。初版は1992年発行。前版は，2004年11月発行。

本書は，表面実装および一般的ガス配分システム（集積化ガス配分システム）の水分ドライダウン特性（水分除去量）を決定するための手順を説明する。APIMSは，最速応答時間でpptレベルの水分分析が可能な市販技術であるため，動的試験用として広く選択されている方法である。本テスト方法は，現在市販されていないかもしれないAPIMSと同様の検出限界および反応時間をもつ他の技術適用する際のガイドラインとしても使用できる。

Vapor phase decomposition (VPD) of surface metals followed by atomic absorption spectroscopy (AAS) or inductively coupled plasma mass spectrometry (ICP-MS) of the VPD residue

E16300 - SEMI E163 - 特別に指定されたエリア内のレチクルおよびその他の静電気超敏感性（EES：EXTREMELY ELECTROSTATIC SENSITIVE）アイテムの取り扱いのためのガイド Revision:SEMI E163-0212 - Superseded • Extension of recipe identificationglobal Metrics Technical Committee20111224global Audits and Reviews Subcommittee20122www. semiviews. org www. semi. org EESSEMI E78 SEMI E129 EES EES HBM100VANSI ESD S20. 20 SEMI E78SEMI E129SEMI E43 EES EESEESCDMFPD Referenced SEMI Standards SEMI E43 Recommended Practice for Electrostatic Measurements on Objects and Surfaces SEMI E78 Guide to Assess and Control Electrostatic Discharge (ESD) and Electrostatic Attraction (ESA) for Equipment SEMI E129