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SEMI G95-1120 (title change)
本文書は2008年9月に，誤字を訂正するため，編集上の修正がなされた。変更箇所は，¶6
本スタンダードは，global Gases Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年9月12日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2011年11月にwww
facility distribution
SEMI E99-0317 (technical revision)
F08700 - SEMI F87 - 1.125インチタイプ4ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用3ポートコンポーネント（MFC/MFMを除く）の寸法のための仕様 Revision:SEMI F87-0312 - Superseded SEMI G95-1120 (title change)global Gases Technical Committee2012830global Audits and Reviews Subcommittee201210www. semiviews. org www. semi. org2004320123 1. 1252 34 308 kPa (44. 7 psia)50 slm20 C 3445 kPa (500 psia) Referenced SEMI Standards SEMI E49. 8 Guide for High Purity and Ultrahigh Purity Gas Distribution Systems in Semiconductor Manufacturing Equipment SEMI F20 Specification for 316L Stainless Steel Bar, Forgings, Extruded Shapes, Plate, and Tubing for Components Used
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